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四探針電阻率測(cè)試方法
點(diǎn)擊次數(shù):1726 更新時(shí)間:2019-02-25
四探針電阻率/方阻測(cè)試儀(以下簡(jiǎn)稱(chēng)電阻率測(cè)試儀)是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份(簡(jiǎn)稱(chēng):主機(jī))、測(cè)試架及四探針頭組成。本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測(cè)量電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以萬(wàn)分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化,免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān),在測(cè)量某些薄層材料時(shí),可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度,給測(cè)量帶來(lái)很大方便。2、測(cè)試儀結(jié)構(gòu)及工作原理測(cè)試儀主機(jī)由主機(jī)板、電源板、前面板、后背板、機(jī)箱組成。電壓表、電流表、電流調(diào)節(jié)電位器、恒流源開(kāi)關(guān)及各種選擇開(kāi)關(guān)均裝在前面板上(見(jiàn)圖2)。后背板上只裝有電源插座、電源開(kāi)關(guān)、四探針頭連接插座、數(shù)據(jù)處理器連接插座及保險(xiǎn)管(見(jiàn)圖3)。機(jī)箱底座上安裝了主機(jī)板及電源板,相互間均通過(guò)接插件聯(lián)接。儀器的工作原理如圖1所示:測(cè)試儀的基本原理仍然是恒流源給探針頭(1、4探針)提供穩(wěn)定的測(cè)量電流I(由DVM1監(jiān)測(cè)),探針頭(2、3)探針測(cè)取電位差V(由DVM2測(cè)量),由下式即可計(jì)算出材料的電阻率:厚度小于4倍探針間距的樣片均可按下式計(jì)算
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